45265-10: HRP-240 Измеритель параметров рельефа поверхности - Производители, поставщики и поверители

Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240

ALL-Pribors default picture
Номер в ГРСИ РФ: 45265-10
Производитель / заявитель: Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
Скачать
45265-10: Описание типа СИ Скачать 193.8 КБ
Нет данных о поставщике
Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240 поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Для контроля морфологических параметров поверхности полупроводниковых структур. Область применения - в производственной лаборатории ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова".

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 45265-10
Наименование Измеритель параметров рельефа поверхности
Модель HRP-240
Технические условия на выпуск тех.документация фирмы
Класс СИ 27.01
Год регистрации 2010
Страна-производитель  США 
Центр сертификации СИ
Наименование центра ГЦИ СИ ВНИИОФИ
Адрес центра 119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель центра Иванов Вячеслав Семенович
Телефон (8*095) 437-56-33
Факс 437-31-47
Информация о сертификате
Срок действия сертификата . .
Номер сертификата 40913
Тип сертификата (C - серия/E - партия) Е
Дата протокола 03д2 от 29.07.10 п.294
Производитель / Заявитель

Фирма "KLA-Tencor Corporation", США

 США 

160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 тел. 408-475-3000; факс 408-875-3030 www.kla-tencor.com, One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. тел. +1-408-875-3000; Corporate факс +1-408-875-4144, E-mail: info@kla-tencor.com

Поверка

Методика поверки / информация о поверке МП ВНИИОФИ
Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Актуальность информации 24.03.2024

Поверители

Скачать

45265-10: Описание типа СИ Скачать 193.8 КБ

Описание типа

Назначение

Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240 (далее -измеритель), предназначен для контроля морфологических параметров поверхности полупроводниковых структур.

Область применения - в производственной лаборатории ФГУП «ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова».

Описание

Принцип действия измерителя основан на методе контактной профилометрии поверхности полупроводниковых структур. Процесс измерений осуществляется при помощи пьезокерамического манипулятора двумерным или трехмерным сканированием в контактном режиме. Система обратной связи фиксирует в процессе сканирования на заданном уровне величину рабочего взаимодействия вариацией вертикальной координаты иглы, то есть сканирование осуществляется по способу постоянного взаимодействия иглы с поверхностью исследуемой структуры. Результатом работы является массив, коррелирующий с топографией исследуемой поверхности. В случае двумерного сканирования игла перемещается в направлении сканирования в заданных пределах, движение в перпендикулярном направлении определяется взаимодействием с исследуемой поверхностью. Данные трехмерного сканирования получаются после обработки данных двумерного сканирования, полученных с определенным шагом.

Измеритель представляет собой автоматизированный прибор, обеспечивающий измерение, обработку и регистрацию выходной информации. Основными элементами являются: устройство для установки и смены исследуемых образцов, сканирующий канал, фиксированный канал системы регистрации и обработки данных.

Конструктивно измеритель выполнен в стационарном напольном исполнении с отдельно устанавливаемым компьютером, предназначенным для приема, обработки и выдачи информации под управлением специализированного программного обеспечения.

Корпус измерителя служит для размещения агрегатов, стабилизации аналитических условий и для защиты пользователя от излучения.

Технические характеристики

Длина сканирования мм, не более

Поперечное разрешение...............................................Х=25 нм, Y=1 мкм

Вертикальный диапазон, мкм.......................................... ±3,25; ± 13; ± 131

Относительная погрешность измерения линейных размеров профиля структуры %, не более

Воспроизводимость...................................................15 А или 0,25 % (1сг)

Скорость сканирования, мкм/с....................................... 2,0 + 25

Частота сканирования, Гц...........................5, 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000

Напряжение питания, В

Габаритные размеры* мм, не более...................................1910x1145x1350

Масса* кг, не более

Условия эксплуатации:

температура, °C

относительная влажность, %, не более

* - без персонального компьютера.

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносят на корпус методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят:

- измеритель;

- персональный компьютер с программным обеспечением «KLA-Tencor»;

- руководство по эксплуатации.

Поверка

Поверка проводится по методике поверки «Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240», разработанной и утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» в 2010 г.

Средства поверки:

Входящие в состав эталона ВЭТ 113-2-09:

- мера высоты ступеньки SHS-18QS;

- мера высоты ступеньки SHS-180QS.

Межповерочный интервал - 1 год.

Лист 3

Всего листов 3 НОРМАТИВНЫЕ И ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

- техническая документация фирмы «KLA-Тепсог», США.

Заключение

Тип измерителя параметров рельефа поверхности HRP-240 (серийный №1205157286) утвержден с техническими и метрологическими характеристиками, приведенными в настоящем описании типа, метрологически обеспечен в эксплуатации.

Смотрите также

Default ALL-Pribors Device Photo
45266-10
SUPRA-25 Микроскоп растровый электронный
Фирма "Carl Zeiss", Германия
Для проведения измерений линейных размеров топологических элементов, толщин и глубин залегания технологических слоев больших и сверхбольших интегральных схем и параметров микрорельефа поверхности различных объектов в твердой фазе методом растровой эл...
Default ALL-Pribors Device Photo
45267-10
Системы автоматизированные коммерческого учета энергоресурсов АСКУЭ КОНТАР
ОАО "Московский завод тепловой автоматики" (ОАО "МЗТА"), г.Москва
Для измерения параметров потребляемой электрической энергии, количества тепловой энергии, воды, сточных вод, пара, газа и других параметров, обработки, архивирования и отображения полученной информации, предупредительной и аварийной сигнализации, выр...
Default ALL-Pribors Device Photo
45268-10
КОНТАР Комплексы программно-технические
ОАО "Московский завод тепловой автоматики" (ОАО "МЗТА"), г.Москва
Для измерения, регистрации и обработки выходных электрических сигналов датчиков физических параметров и счетчиков энергоресурсов с импульсным и цифровым выходом (электрической энергии, количества тепловой энергии, воды, природного газа), формирования...
Default ALL-Pribors Device Photo
Для измерения активной и реактивной электроэнергии, для осуществления эффективного автоматизированного коммерческого учета и контроля потребления электроэнергии и мощности потребляемой с ОРЭМ по всем расчетным точкам учета, а также регистрации параме...