Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV
| Номер в ГРСИ РФ: | 50908-12 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Jeol", Япония |
Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее ╞ микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 50908-12 |
| Наименование | Микроскоп электронный растровый |
| Модель | JSM-6460LV |
| Год регистрации | 2012 |
| Страна-производитель | Япония |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | .. |
| Номер сертификата | 47771 |
| Тип сертификата (C - серия/E - партия) | E |
| Дата протокола | Приказ 650 п. 05 от 24.08.2012 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Jeol", Япония
Япония
Поверка
| Методика поверки / информация о поверке | ГОСТ Р 8.613-2007 |
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 7 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 7 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 50908-12: Описание типа СИ | Скачать | 239.3 КБ | |
| Свидетельство об утверждении типа СИ | Открыть | ... |
Описание типа
Назначение
Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных объектов и структур, в том числе диэлектрических.
Описание
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из электронно-оптической системы (колонны), камеры объектов с механизмом перемещения объектов, детектора вторичных и детектора отраженных электронов, вакуумной системы, видеоконтрольного устройства, блока питания.
Принцип получения изображения в микроскопе заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных вторичных отраженных электронов, при сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа.
При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.
Рис.1. Общий вид микроскопа электронного растрового JSM-6460LV
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
|
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
TR0104-020 |
6.54 |
79BD56A52F4E65 CF14CC36193B05 85A629861652466 F272F3DB974B2F 378878B |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Метрологические и технические характеристики приведены в Таблице 2 Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Эффективный диаметр электронного зонда во вторичных электронах при 30 кВ (образец - кремний), нм, не более |
30 |
|
Диапазон регулировки увеличения, крат |
8^300000 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
0,15^5000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %: - в диапазоне от 0,15 до 0,3 мкм - в диапазоне от 0,3 до 0,6 мкм - в диапазоне от 0,6 до 5000 мкм |
±11 ±7 ±5 |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
0,3^30 |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В |
220+22-33 |
|
Потребляемая мощность, кВ^А |
3 |
|
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм: - стенд с колонной, агрегатом вакуумным, ВКУ - видеоконтрольный блок |
750х960х1480 1150х900х700 |
|
Масса, кг |
600 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа |
20 ± 5 60 84^107 |
Знак утверждения типа
наносится в виде наклейки на электронно-оптическую систему (колонну) микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.
Комплектность
В комплект микроскопа входят: микроскоп электронный растровый JSM-6460LV, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по ГОСТ Р 8.631-2007 «Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки».
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Сведения о методах измерений
Техническое описание «Микроскоп электронный растровый JSM-6460LV фирмы «JEOL», Япония».
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Рекомендации к применению
- применяется вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений.
Другие Микроскопы
