60084-15: Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP Микроскоп электронный просвечивающий - Производители, поставщики и поверители

Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP

Номер в ГРСИ РФ: 60084-15
Категория: Микроскопы
Производитель / заявитель: Фирма "FEI Europe B.V., P.O.", Нидерланды
Скачать
60084-15: Описание типа СИ Скачать 85.4 КБ
Нет данных о поставщике
Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP поверка на: www.ktopoverit.ru
КтоПоверит
Онлайн-сервис метрологических услуг

Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров объектов.

Информация по Госреестру

Основные данные
Номер по Госреестру 60084-15
Наименование Микроскоп электронный просвечивающий
Модель Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP
Срок свидетельства (Или заводской номер) зав.№ 9922720/D2318
Производитель / Заявитель

Фирма "FEI Europe B.V., P.O.", Нидерланды

Поверка

Межповерочный интервал / Периодичность поверки 1 год
Зарегистрировано поверок 8
Найдено поверителей 1
Успешных поверок (СИ пригодно) 8 (100%)
Неуспешных поверок (СИ непригодно) 0 (0%)
Актуальность информации 24.03.2024

Поверители

Скачать

60084-15: Описание типа СИ Скачать 85.4 КБ

Описание типа

Назначение

Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP (далее - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров объектов.

Описание

Принцип действия микроскопа основан на том, что электроны, испускаемые катодом, ускоряются электронной пушкой и сводятся в пучок, который дополнительно фокусируется конденсорными линзами и проецируется на объект. При прохождении через объект параллельного пучка быстрых электронов происходит их рассеяние на неоднородностях структуры или состава исследуемого объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят: электронно-оптическая колонна; светло-темнопольный детектор электронов; широкоугловой темнопольный детектор; рабочий стол с блоками управления электроники, который вместе с электронно-оптической колонной образует главную консоль прибора; вакуумная система с отдельно расположенным форвакуумным механическим насосом; стабилизированный источник высокого напряжения; компрессор сжатого воздуха для управления пневмоклапанами; система замкнутого водяного охлаждения.

Основной частью микроскопа является электронно-оптическая колона. В состав колоны входят электронная пушка и три блока электронных линз (осветительный, формирующий изображение и проекционный). Первый блок составлен из двух линз. Основным элементом второго блока является объективная линза, в которую путем шлюзования вводится объекто-держатель с объектом. Блок проекционных линз обеспечивает требуемое увеличение изображений. На нижней части колонны установлена камера с флуоресцентным экраном, в которой выполнены окна для наблюдения изображения. Над центральным окном установлен оптический бинокулярный микроскоп, который обеспечивает просмотр фрагментов изображения на экране и фокусировку.

Управление работой микроскопа осуществляется с помощью рабочей станции на базе специализированного компьютера.

При работе микроскопа обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопа не превышает 1 мкЗв/ч.

Внешний вид микроскопа приведен на рисунке 1.

Рисунок 1 - Общий вид микроскопа Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP.

Программное обеспечение

Управление микроскопом осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).

Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.

Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.

Таблица 1.

Наименование ПО

Идентификационное наименование ПО

Номер версии (идентификационный номер) ПО

Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода)

Алгоритм вычисления идентификатора ПО

Пакет управляющих программ «ТЕМ User Interface»

peoui.exe

4.6.2, build 9496

A4DCDA36EC25390C2526B1 018A0F653DCFC77B24D5F2 E52A82F6D185E3D71193

По ГОСТ Р 34.11-94

Технические характеристики

Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.

Таблица 2.

Наименование характеристики

Значение

Диапазон измерений линейных размеров, нм

от 3 до 50000

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, %

±10

Диапазон регулировки увеличений, крат

от 25 до 1030000

Диапазон ускоряющих напряжений, кВ

от 20 до 200

Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50±1) Гц, В

от 198 до 233

Потребляемая мощность, кВт, не более

10

Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм

1950 х 1200 х 2940

Масса, кг, не более

2200

Рабочие условия эксплуатации:

- температура окружающей среды, °С

- относительная влажность воздуха, %, не более

- атмосферное давление, кПа

20 ± 3

80 от 84 до 107

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится в виде наклейки на электронно-оптическую колонну микроскопа и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя типографским способом.

Комплектность

В комплект поставки входят: микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP, комплект ЗИП, расходные материалы, техническая документация фирмы-изготовителя.

Поверка

осуществляется по документу МП 60084-15 «Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP фирмы «FEI Europe B.V., P.O.», Нидерланды. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в феврале 2015 г.

Средства поверки: СО параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния (ГСО 10030-2011).

Сведения о методах измерений

Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP. Руководство по эксплуатации.

Нормативные документы

Микроскоп электронный просвечивающий Tecnai G2 F20 S-TWIN TMP. Руководство по эксплуатации.

Рекомендации к применению

Отсутствуют.

Другие Микроскопы

Микроскопы полевые эмиссионные растровые электронные SIGMA, SIGMA VP, SIGMA HD, SIGMA HD VP предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
32060-15
176 Микроскопы измерительные
Фирма "Mitutoyo Corporation", Япония
Микроскопы измерительные серии 176 (далее - микроскопы) предназначены для оптического измерения линейных размеров деталей.
Default ALL-Pribors Device Photo
4184-83
ИМЦ 150х50 Б Микроскопы инструментальные
Приборостроительный завод, г.Новосибирск
Микроскоп электронный растровый JSM-6490LV (далее по тексту - микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров микрорельефа твердых структур.
63408-16
МИМ-340 Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами
АО "ПО "Уральский оптико-механический завод им.Э.С.Яламова" (УОМЗ), г.Екатеринбург
Микроскопы лазерные МИМ с длинноходовыми предметными столами МИМ-340 (далее по тексту - микроскопы МИМ), предназначены для трехмерного анализа рельефа отражающей поверхности в микро- и нанодиапазоне, создания графических изображений и их цифрового ан...