Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA)
| Номер в ГРСИ РФ: | 60728-15 |
|---|---|
| Категория: | Микроскопы |
| Производитель / заявитель: | Фирма "Jeol", Япония |
| 60728-15: Описание типа СИ | Скачать | 90.3 КБ |
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 60728-15 |
| Наименование | Микроскопы электронные растровые |
| Модель | JSM-6x10x (мод. JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 21.05.2020 |
Производитель / Заявитель
Фирма "JEOL Ltd.", Япония
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 5 |
| Найдено поверителей | 2 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 5 (100%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 0 (0%) |
| Актуальность информации | 14.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 60728-15: Описание типа СИ | Скачать | 90.3 КБ |
Описание типа
Назначение
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010Plus/LV, JSM-6010Plus/LA, JSM-6510Plus, JSM-6510Plus/A, JSM-6510Plus/LV, JSM-6510Plus/LA) (далее - микроскопы) предназначены для количественного морфологического анализа и измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур.
Описание
Принцип получения изображения в микроскопах заключается в модуляции яркости монитора видеоконтрольного устройства сигналами, пропорциональными числу зарегистрированных электронов соответствующим детектором при синхронном с монитором сканировании сфокусированного электронного зонда по поверхности объекта. Отношение размера изображения на мониторе к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопов.
Микроскопы представляют собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему.
В состав микроскопов входят электронно-оптическая система (колонна), камера объектов с механизмом перемещения объектов, детекторы вторичных и отраженных электронов, вакуумная система, видеоконтрольное устройство, блок питания.
Микроскопы обеспечивают работу в режимах регистрации вторичных и обратно рассеянных электронов.
Отличие модификаций:
- JSM-6510Plus - работает только в режиме высокого вакуума;
- JSM-6510Plus/A - работает только в режиме высокого вакуума и комплектуется встроенным энергодисперсионным спектрометром (ЭДС);
- JSM-6010LV, JSM-6010Plus/LV, JSM-6510Plus/LV - работают в режимах высокого и низкого вакуума;
- JSM-6010LA, JSM-6010 Plus LA, JSM-6510Plus/LA - работают в режимах высокого так и низкого вакуума и комплектуются встроенным ЭДС;
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
При работе микроскопов обеспечиваются безопасные условия труда оператора. При максимальных значениях ускоряющего напряжения и тока зонда мощность эквивалентной дозы рентгеновского излучения в любой доступной точке на расстоянии 10 см от поверхности колонны и камеры объектов микроскопов не превышает 1 мкЗв/ч.
Внешний вид микроскопов приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов JSM-6x10x.
Программное обеспечение
Управление микроскопами осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
|
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
|
InTouchScope GUI |
InTouch-ScopeADJ.ex e |
ver. 2.0 |
4A54C4738C10121B5CC0643 328579F5E3DA3DEED886481 E39CBBED2DC27362F2 |
По ГОСТ Р 34.11-94 |
Технические характеристики
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблице 2.
Таблица 2.
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | |
|
JSM-6010LV JSM-6010LA JSM-6010Plus/LV JSM-6010Plus/LA |
JSM-6510Plus JSM-6510Plus/A JSM-6510Plus/LV JSM-6510Plus/LA | |
|
Пространственное разрешение в режиме регистрации вторичных электронов (высокий вакуум) при ускоряющем напряжении 20 кВ, не более, нм |
4 |
3 |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,03 до 1000 | |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
± 10 | |
|
Габаритные размеры (ширина ^высота х глубина), мм, не более: - консоль с колонной и вакуумной системой - видеоконтрольный блок |
750x1200x1200 900x1200x900 | |
|
Масса (без ЗИП и упаковки), кг, не более |
330 | |
|
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50/60 ± 1) Гц, В |
220 ± 22 | |
|
Потребляемая мощность, В • А, не более |
1500 | |
|
Рабочие условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха при температуре, %, не более - атмосферное давление, кПа |
от 15 до 27 60 от 84 до 107 | |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на лицевую панель блока измерительного в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Комплектность
В комплект поставки входят: микроскоп электронный растровый JSM-6x10x, комплект ЗИП, техническая документация фирмы-изготовителя.
Поверка
осуществляется по документу МП 60728-15 «Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA) фирмы JEOL Ltd., Япония. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в апреле 2015 г.
Средства поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К (Госреестр № 33598-06), островковая пленка золота на углероде GOLD ON CARBON TEST SPEC SM 1501.
Сведения о методах измерений
Микроскопы электронные растровые JSM-6x10x (модификации JSM-6010LV, JSM-6010LA, JSM-6010PLUS/LV, JSM-6010PLUS/LA, JSM-6510PLUS, JSM-6510PLUS/A, JSM-6510PLUS/LV, JSM-6510PLUS/LA). Руководство по эксплуатации.
Нормативные документы
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Другие Микроскопы
