Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS
| Номер в ГРСИ РФ: | 64277-16 |
|---|---|
| Производитель / заявитель: | Фирма "Bruker Optik GmbH", Германия |
Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS (далее -системы Quantax EDS) предназначены для измерений массовой доли элементов от бериллия до америция в различных твердых (монолитные и порошки) веществах и материалах, а также анализа состава тонких слоев и частиц.
Информация по Госреестру
| Основные данные | |
|---|---|
| Номер по Госреестру | 64277-16 |
| Наименование | Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа |
| Модель | Quantax EDS |
| Срок свидетельства (Или заводской номер) | 24.06.2021 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Bruker Nano GmbH", Германия
Поверка
| Межповерочный интервал / Периодичность поверки | 1 год |
| Зарегистрировано поверок | 5 |
| Найдено поверителей | 1 |
| Успешных поверок (СИ пригодно) | 3 (60%) |
| Неуспешных поверок (СИ непригодно) | 2 (40%) |
| Актуальность информации | 21.04.2024 |
Поверители
Скачать
| 64277-16: Описание типа СИ | Скачать | 137.2 КБ | |
| 64277-16: Методика поверки МП 79-223-2015 | Скачать | 989 КБ |
Описание типа
Назначение
Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS (далее -системы Quantax EDS) предназначены для измерений массовой доли элементов от бериллия до америция в различных твердых (монолитные и порошки) веществах и материалах, а также анализа состава тонких слоев и частиц.
Описание
Принцип действия системы Quantax EDS основан на методе рентгеновского микроанализа, сущность которого заключается в возбуждении атомов анализируемого вещества электронным пучком (зондом) высокой энергии с одновременной регистрацией характеристического рентгеновского излучения атомов, входящих в состав этого вещества.
Система Quantax EDS работает по энергодисперсионному принципу, в соответствии с которым происходит одновременная регистрация всех участков рентгеновского спектра. Для осуществления указанного принципа детектор системы Quantax EDS снабжен сверхтонким входным окном из дюрбериллия толщиной 8 мкм или из полимера с толщинами 3 и 5 мкм для регистрации сверхлегких элементов.
Система Quantax EDS выполнена по модульному принципу и включает в себя конструктивно законченные блоки. В состав системы Quantax EDS входят:
- энергодисперсионный детектор рентгеновского излучения XFlash®;
- блок обработки спектрометрического сигнала (электронный блок);
- программное обеспечение ESPRIT;
- серверный компьютер (компьютер типа IBM PC).
Источником электронов высокой энергии является электронная пушка сканирующего электронного микроскопа, на который устанавливается система Quantax EDS.
В качестве детектора характеристического рентгеновского излучения системы Quantax EDS используется энергодисперсионный кремниевый дрейфовый детектор (SDD).
Энергии рентгеновского излучения регистрируются с помощью полупроводникового детектора XFlash® и обрабатываются электроникой блока обработки спектрометрического сигнала.
Управление работой системы Quantax EDS и обработка данных измерений осуществляется с помощью серверного компьютера (компьютера типа IBM PC) и специализированного программного обеспечения Esprit, при этом вывод информации о массовых долях анализируемых элементов осуществляется на монитор компьютера, а значения массовых долей элементов могут выводиться на USB-накопитель при задании в программном обеспечении системы Quantax EDS соответствующей команды.
Для защиты от несанкционированного доступа в целях предотвращения вмешательств, которые могут привести к искажению результатов измерений, корпус детектора и блока обработки сигнала системы Quantax EDS снаружи опломбированы.
Ф ото общего вида системы Quantax EDS без детектора приведено на рисунке 1. Отдельное фото детектора системы Quantax EDS представлено на рисунке 2.
Место нанесения знака поверки в виде наклейки
Рисунок 1 - Общий вид системы Quantax EDS без детектора 1 - блока обработки сигнала (электронный блок) системы;
2 - монитор серверного компьютера;
3 - системный блок серверного компьютера
Место для пломбирования
Рисунок 2 - Отдельное фото детектора системы Quantax EDS
Программное обеспечение
Идентификационные данные программного обеспечения (ПО) систем Quantax EDS приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
ESPRIT |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже 1.81) |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
|
1) Версия программного обеспечения может иметь дополнительные цифровые суффиксы | |
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние программного обеспечения учтено изготовителем при нормировании метрологических характеристик системы Quantax EDS.
Технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Спектральное разрешение линии KaMn (5,9 кэВ), эВ |
от 121 до 145 (зависит от площади кристалла детектора) |
|
Максимальная скорость счета, имп/с |
600 000 |
|
Предел допускаемого относительного СКО выходного сигнала, % |
0,5 |
|
Диапазон измерений массовой доли элементов, % |
от 0,1 до 100,0 |
|
Предел допускаемого СКО случайной составляющей относительной погрешности измерений массовой доли элементов1), %, в поддиапазоне измерений: - от 0,1 до 1,5 % включ. - св. 1,5 до 10,0 % включ. - св. 10,0 до 20,0 % включ. - св. 20,0 до 100,0 % включ. |
10 5,0 2,0 1,0 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элементов1), %, в поддиапазоне измерений: - от 0,1 до 1,5 % включ. - св. 1,5 до 10,0 % включ. - св. 10,0 до 20,0 % включ. - св. 20,0 до 100,0 % включ. |
±35 ±30 ±10 ±5,0 |
|
1) Показатель точности измерений массовой доли элементов определяется при использовании дополнительного модуля программного обеспечения для измерений со стандартными образцами | |
Таблица 3 - Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Активная площадь детектора, мм2 |
от 10 до 100 (10, 30, 60, 100) |
Продолжение таблицы 3
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания: - напряжение сетевого питания, В - частота питающей сети, Гц |
110/240±11/24 60/50±1 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: - детектора без учета длины «пальца» (ДлинахШиринахВысота) - блока обработки сигнала (ДлинахШиринахВысота) - типичная длина «пальца» детектора (зависит от электронного микроскопа, на который устанавливается система) |
160x90x124 495x270x165 250/330/400 |
|
Масса, кг, не более: - детектора - блока обработки сигнала |
3,75 7 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающего воздуха, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа |
от 0 до +35 90 от 84,0 до 106,7 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
10 |
Знак утверждения типа
наносится на титульный лист «Руководства по эксплуатации» в виде наклейки.
Комплектность
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Система рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS в составе: - энергодисперсионный детектор рентгеновского |
XFlash® |
1 шт. |
|
излучения - блок обработки спектрометрического сигнала (электронный блок) |
- |
1 шт. |
|
- программное обеспечение |
ESPRIT |
1 шт. |
|
- серверный компьютер (компьютер типа IBM PC) 1) |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации, включающее Руководство пользователя программного обеспечения, |
- |
1 экз. |
|
на русском языке и в подлиннике | ||
|
Методика поверки |
МП 79-223-2015 с изменением № 1 |
1 экз. |
|
1) Поставляется по отдельному заказу. | ||
Поверка
осуществляется по документу МП 79-223-2015 с изменением № 1 «ГСИ. Системы рентгеновского энергодисперсионного микроанализа Quantax EDS. Методика поверки», утвержденному ФГУП «УНИИМ» 26.04.2019 г.
Основные средства поверки:
- стандартные образцы (СО) состава сталей легированных - ГСО 4506-92П/4510-92П (комплект СО ЛГ32 - ЛГ36), образцы с индексами ЛГ32, ЛГ 34 (рекомендуемые элементы: C, Si, Cr, Ni, W, Mo), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,002 до 0,06 %, образец с индексом ЛГ 36 (рекомендуемый элемент: Mn с содержанием 1,97 %), абсолютная погрешность аттестованного значения 0,03 %;
- СО состава латуни оловянно-свинцовой ЛЦ25С2 (комплект М171) - ГСО 6319-92/ 6323-92, образцы с индексами 1711, 1715 (рекомендуемые элементы: Sn, Pb, Si, Al, Cu, Zn), абсолютная погрешность аттестованных значений массовых долей элементов от 0,02 до 0,7 %.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых средств измерений с требуемой точностью.
Знак поверки в виде клейма наносят на свидетельство о поверке и (или) в виде наклейки непосредственно на средство измерений.
Сведения о методах измерений
приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные документы
Техническая документация изготовителя «Bruker Nano GmbH», Германия
Смотрите также
